Generator čiste pare je oprema koja koristi vodu za ubrizgavanje ili pročišćenu vodu za proizvodnju čiste pare. Glavni dio je spremnik vode za pročišćavanje razine. Spremnik zagrijava deioniziranu vodu pomoću pare iz bojlera za stvaranje pare visoke čistoće. Predgrijač i isparivač spremnika imaju intenzivnu bešavnu cijev od nehrđajućeg čelika. Osim toga, podešavanjem izlaznog ventila može se dobiti para visoke čistoće s različitim protutlacima i brzinama protoka. Generator je primjenjiv za sterilizaciju i može učinkovito spriječiti sekundarno onečišćenje koje proizlazi iz nakupina teških metala, izvora topline i drugih nečistoća.